W200 晶圆自动测试附件
W200是一款自动的反射、透射测试附件，可用于半导体晶圆的C、O含量，外延层厚度测试，也可用于其它有多样品、自动分析需求的应用场景。
产品特点
产品特点：
- 可单独选择透射、反射或透射反射双模式，节省采购成本
- 采用进口步进电机、进口光学元件
- 支持最大8英寸（200mm）的晶圆，可定制异形样品支架
- 软件设置多个测试点，自动测试光谱并显示分析结果
- 可定制的软件，针对不同的应用场景，可量身定制测试方法、算法及结果输出方式
应用范围：
- 半导体晶圆的碳、氧含量分析
- 半导体晶圆的外延层厚度检测
- 滤光片、镀膜样品的透射、反射自动测试
- 多样品的透射、反射批量自动测试