垂直式wafer分析附件

垂直式wafer分析附件用于直径2-6英寸wafer的碳氧、BPSG分析，也可用于其它形状样品的测试

SKU: 073-26XX 类别: PIKE, 半导体晶圆分析

产品特点

产品特点

产品特点：

透射模式，用于分析半导体wafer的C、O含量和BPSG
支持2-6英寸直径的wafer
支持其它形状的样品